爱生纳
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国产DUV光刻机量产启动，能否打破芯片制造装备依赖？
多家媒体报道，中国已启动国产深紫外光刻机的量产阶段，由爱生纳公司主导，计划今年交付5台，明年增至20台。ASML股价波动，但专家认为国产设备在良率、精度等指标上与国际水平存在差距，短期内难以撼动其市场地位。
多家媒体报道，中国已启动国产深紫外光刻机的量产阶段，由爱生纳公司主导，计划今年交付5台，明年增至20台。ASML股价波动，但专家认为国产设备在良率、精度等指标上与国际水平存在差距，短期内难以撼动其市场地位。
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