据技术产业报刊报导，一家上海基地的中国企业正在试点生产浸入式紫外线光刻设备。根据业内消息，该企业今年计划推出5套装置投放市场，并力争在2027年扩大至约20台浸入式紫外线光刻设备的年产规模。
2023年7月，在沪召开的全球人工智能峰会展览会上，参展商展示了国产超算硬件产品与”自主研发”标识。 © 美联社
虽然初期产能数字相对有限，但这代表了中国在自主研制紫外线光刻设备领域的关键进展，将有助于降低对荷兰阿斯麦等国际大厂的依赖程度。这家上海企业计划首批供货给中国主要芯片制造企业，包括中国中芯国际电路公司、长江存储和华虹微电子，将这些系统整合至现有制造体系。新闻公布后，荷兰公司股值应声下跌4.6%。
由于涉及敏感信息，业界消息人士对这家具有国企背景的设备制造厂商身份保持沉默。这一技术突破最终可能威胁荷兰企业在华的垄断地位，不过当前这类系统在运行效能及长期稳定性上仍有提升空间，还需继续验证后方能量产。因此现阶段荷兰企业的行业领先地位仍然牢固。量产初期产出受限，今年预见5台设备交付，2027年预期20台左右。
浸入式紫外光学蚀刻工具的功用是在硅晶圆表面刻画电路设计图样；由于出口管制措施导致中国无法获取极紫外线光刻机，浸入式紫外线机器成为了国内产业界最尖端的可用技术选择。
中方也在投入极紫外线光刻设备的自主研发，目前仍处于试验性生产阶段。鉴于美国方面在酝酿强化与同盟国协作，对中国输出光刻工具以及附属技术支援实施更全面的约束，这一技术有望给国内芯片企业提供紧缺设备的本地替代方案。
